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基于等离子体原子层沉积的包覆纳米晶薄膜的方法及产品

发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
刘梦佳,耿士才,姜晨晨,周彬泽,曹坤,井尧,张晶,李嘉伟,刘潇,单斌,曲锴,陈蓉
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
发明
授权号:
ZL201911003733.X
发明人数:
7
授权日期:
2019-10-22
第一作者:
陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师