基于等离子体原子层沉积的包覆纳米晶薄膜的方法及产品
发布时间:2022-03-22
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- 所属单位:
- 华中科技大学
- 学校署名:
- 华中科技大学
- 申请专利人:
- 刘梦佳,耿士才,姜晨晨,周彬泽,曹坤,井尧,张晶,李嘉伟,刘潇,单斌,曲锴,陈蓉
- 发明设计人:
- 华中科技大学
- 专利类型:
- 发明
- 授权号:
- ZL201911003733.X
- 发明人数:
- 7
- 授权日期:
- 2019-10-22
- 第一作者:
- 陈蓉