一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 申请专利人：
- 但威,马玉春,林骥龙,李云,王晓雷,陈蓉,文艳伟,单斌,巴伟明,段晨龙,竹鹏辉
- 发明设计人：
- 华中科技大学
- 专利类型：
- 发明
- 授权号：
- ZL201710336412.6
- 发明人数：
- 7
- 授权日期：
- 2019-03-19
- 第一作者：
- 陈蓉,陈蓉
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