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专利
一种变温薄膜沉积系统
发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
但威,马玉春,何文杰,林骥龙,王晓雷,唐根,曾大文,文艳伟,王永庆,段晨龙,单斌,刘潇,陈蓉
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
发明
授权号:
ZL201510932643.4
发明人数:
7
授权日期:
2015-12-16
第一作者:
陈蓉
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一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法
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一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
陈蓉
人气:
教授 , 博士生导师 , 硕士生导师
同专业硕导
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