一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 申请专利人：
- 张晶,曲锴,刘潇,李嘉伟,陈蓉,单斌,但威,马玉春,王晓雷,何文杰,林骥龙
- 发明设计人：
- 华中科技大学
- 专利类型：
- 发明
- 授权号：
- ZL201810614143.0
- 发明人数：
- 6
- 授权日期：
- 2018-06-14
- 第一作者：
- 陈蓉,陈蓉
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