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一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备

发布时间:2022-03-22
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所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
曹坤,张晶,李嘉伟,刘潇,曲锴,但威,马玉春,林骥龙,李云,单斌,王晓雷,陈蓉
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
发明
授权号:
ZL201810274604
发明人数:
7
授权日期:
2018-03-30
第一作者:
陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师