一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 申请专利人：
- 巴伟明,文艳伟,单斌,曹坤,褚波,段晨龙,陈蓉
- 发明设计人：
- 华中科技大学
- 专利类型：
- 发明
- 授权号：
- ZL201610371245.4
- 发明人数：
- 2
- 授权日期：
- 2016-05-31
- 第一作者：
- 陈蓉
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