Planetary Rotation Fluidized Apparatus for Nanoparticle Atomic Layer Deposition
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 发明设计人：
- Penghui Zhu,Chenlong Duan,Bin Shan,Weiming Ba
- 专利类型：
- PCT或外国申请
- 授权号：
- (ZL201510953058.2) EP3181722, 2016.02.29 point to UK (EP3181722) and Germany (DE 602016002460.8)
- 发明人数：
- 5
- 授权日期：
- 2016-02-29
- 第一作者：
- Rong Chen