Nanoparticle continuous-coating device and method based on spatial atomic layer deposition
发布时间：2022-03-22
点击次数：
- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 发明设计人：
- Weiming Ba,Kai Qu,Yun Li,Kun Cao,Wei Dan
- 专利类型：
- PCT或外国申请
- 授权号：
- (ZL201710423764.5) US Patent 10,914,006 B2 PCT/CN2017/088371
- 发明人数：
- 6
- 授权日期：
- 2017-02-15
- 第一作者：
- Rong Chen