Nanoparticle continuous-coating device and method based on spatial atomic layer deposition
发布时间:2022-03-22
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- 所属单位:
- 华中科技大学
- 学校署名:
- 华中科技大学
- 申请专利人:
- Dan,Wei,Cao,Kun,Li,Yun,Qu,Kai,Ba,Weiming,Chen,Rong
- 发明设计人:
- 华中科技大学
- 专利类型:
- PCT或外国申请
- 授权号:
- (ZL201710423764.5) US Patent 10,914,006 B2 PCT/CN2017/088371
- 发明人数:
- 6
- 授权日期:
- 2017-02-15
- 第一作者:
- 陈蓉,陈蓉