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一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备

发布时间：2022-04-16

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授权号：: ZL2018105037301

授权日期：: 2019-08-13

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陈蓉

人气：

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师

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