EN

专利

当前位置: 中文主页 - 科学研究 - 专利

一种循环卷绕式原子层沉积设备

发布时间：2022-04-16

点击次数：

授权号：: ZL201710193000.1

授权日期：: 2019-02-19

上一条：一种基于压电传感的微振动检测器
下一条：一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备

陈蓉

人气：

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师

同专业硕导同专业博导