与传统硅、锗、III-V族半导体相比,以石墨烯、BP、MoS2等为代表的新兴二维材料在原子级厚度下具有高载流子迁移率,在器件集成时表界面态密度低,同时,其属性可调性好,是发展下一代高性能半导体器件的理想载体。为此,团队旨在发展适用于二维半导体材料与器件的关键技术,从电荷掺杂、极化调控以及相变工程等方面着手,聚焦于信息存储、智能感知等应用方向,主要开展以下几方面的研究:
1. 二维半导体材料的可控制备
(a)利用物理、化学气相沉积等方法在特定衬底上,实现MoS2、WSe2等二维半导体材料等大面积合成,开发其刻蚀加工工艺;
(b)开发锂嵌入等策略实现二维过渡金属硫族化合物(TMDCs)的原位相变调控,精准制备原子级锐利相变界面,实现电荷载流子高效输运;
2. 高性能二维半导体存储器
(a)基于浮栅陷阱结构、铁电极化等调控二维材料电荷掺杂状态,开发精确可控电荷擦写方法,实现多值数据记忆;
(b)优化构筑二维存储器界面,提升电荷注入和循环擦写耐久性,实现100ns高速擦写的高可靠性存储器;
3. 仿生智能感知器件与系统
(a)以记忆性半导体存储器件为基础,开发可以模仿人工突触长、短期可塑性和神经元积分-点火特性的低功耗仿生电子器件,实现类脑计算;
(b)融合光电传感和记忆存储材料,开发类视网膜自适应、高光谱感知技术;针对动态目标探测,开发感-存-算一体智能感知器件;