Modular injector and device for spatial separately atomic layer deposition method and reactor
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 发明设计人：
- Rong Chen,Xiaolei Wang,Bin Shan,Yun Li,Jilong Lin,Yuchun Ma,Wei Dan
- 专利类型：
- PCT或外国申请
- 授权号：
- (ZL201710336412.6) US Patent Application: 16/493,208 (Sep 11, 2019) PCT/CN2018/073996
- 发明人数：
- 7
- 授权日期：
- 2018-01-24