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Atomic Layer Deposition Device for Massively coating Micro-nano particles

发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
Zhang,Jing,Qu,Kai,Liu,Xiao,Shan,Bin,Li,Jiawei,Rong
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
PCT或外国申请
授权号:
(ZL201810614143.0) US Patent Application: 16/615,060, PCT/CN2019/082668
发明人数:
6
授权日期:
2019-04-15
第一作者:
陈蓉,Chen,陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师