Atomic Layer Deposition Device for Massively coating Micro-nano particles
发布时间:2022-03-22
点击次数:
- 所属单位:
- 华中科技大学
- 学校署名:
- 华中科技大学
- 申请专利人:
- Zhang,Jing,Qu,Kai,Liu,Xiao,Shan,Bin,Li,Jiawei,Rong
- 发明设计人:
- 华中科技大学
- 专利类型:
- PCT或外国申请
- 授权号:
- (ZL201810614143.0) US Patent Application: 16/615,060, PCT/CN2019/082668
- 发明人数:
- 6
- 授权日期:
- 2019-04-15
- 第一作者:
- 陈蓉,Chen,陈蓉