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基于忆阻器的存算一体芯片(Memristor-based Compute-in-Memory Chips )
大数据、人工智能、物联网对于高性能存储和计算的需求日益突出,但现在的计算架构存在存算分离导致的存储墙、功耗墙等关键问题,忆阻器(Memristor)作为一款新型非易失存储器,具有器件单元小、读写速度快、功耗低且与传统CMOS工艺兼容的特点,被认为是下一代非易失存储器的有力候选者;同时,忆阻器阵列可以一步实现向量-矩阵乘累加运算,可以实现模拟神经形态计算,也可用作存内逻辑计算,具备高算力和低功耗等存算一体化(compute-in-memory, CIM)功能特征,在很多方面表现出颠覆性优势。
研究小组持续致力于研制CMOS工艺兼容的高性能忆阻器,突破大规模忆阻阵列CMOS混合集成工艺方法,开展器件电路协同优化设计,完成新型存储与存算一体化计算等新架构的设计和相关芯片流片。经过多年多批次全晶圆芯片设计研制流片验证的艰苦探索,我们在器件、阵列电路、计算方法、芯片架构等几方面取得阶段性突出成果,同时基于芯片设计研制的探索实践,形成了忆阻器存算一体芯片的基本设计方法及对应EDA工具原型。
新型铪基铁电器件及芯片(HfO2-based Ferroelectric Devices and IC chips)
基于掺杂HfO2等新型铁电材料的铁电存储器结构(1T1C FeRAM、1T FeFET、FTJ)具有速度快、面积较小、低功耗等优点,在新型非易失存储、神经形态计算等领域获得广泛关注,具有较大的应用潜力。同时,基于铁电负电容效应的负电容场效应晶体管(NCFET),通过内部栅压放大,突破亚阈值摆幅玻尔兹曼极限,提振晶体管驱动性能。研究小组自2018年开始,对铪基铁电材料、器件制备、性能机理与应用等方面开展了持续深入的研究,我们在铪基材料的铁电形成理论、铁电调控机制和方法、超高性能铁电薄膜及器件制备上取得了部分重要成果。
新器件建模与协同优化设计EDA (Emerging Device Modelling and DTCO EDA)
自2006年,我们对设计工艺协同优化(DTCO)的相关理论方法框架与EDA工具链开展了深入的探索研究,DTCO对于先进工艺路线以及新型芯片设计方法探索至关重要。我们早期针对随机涨落问题提出了相应DTCO方法,前期成果已经完整转化成新思科技(Synopsys)DTCO工具链TCAD-SPICE,包括物理建模仿真、紧凑建模、随机涨落建模和统计设计仿真,2019年获得新思科技一笔价值3000万的软件捐赠(Link)。新型微纳电子器件及芯片设计研究首先需要深入的器件机理分析、建模和模型运用,TCAD不仅可以分析器件物理,也可以检验新器件设计;新器件紧凑建模,能够帮助建立和完善工艺库,从而辅助电路设计。研究小组在建模及DTCO领域具有长期积累的优势,近年来针对7纳米以下FinFET、GAAFET、NCFET等后摩尔逻辑器件,以及Memristor、Ferroelectric、PCM等新型存储器件,在器件机理、随机涨落的物理建模仿真与紧凑建模方面开展了研究,开展智能算法、EDA新方法和新工具研究,探索单元库级DTCO方法。同时,结合新型芯片设计研制,探索器件到芯片的各层次建模方法、设计工艺跨层次协同优化方法,全面支撑新型非易失存储器和存算一体化芯片设计研制创新工作。研究小组致力于在建模仿真、DTCO领域做出贡献。
完整论文成果:
Xingsheng Wang - Google Scholar
- 黄梦华,江品锋,王成旭,汪美青,马颖昊,甘周超,杨逸凡,缪向水.王兴晟.BEOL Large-scale Integration and Precise Programming of HfOx/AlOy Superlattice-like Multi-Level Memristors.IEEE Transactions on Electron Devices,2024,(8):4613-4618
- 甘周超,张冬冬,张晨宇,马颖昊,缪向水.王兴晟.Efffcient implementation of Majority-Inverter Graph logic and arithmetic functions with memristor arrays.SCIENCE CHINA Information Sciences,2024,179403
- 蔡子非,黄安傲雪,熊毅丰,穆德江,缪向水.王兴晟.Multi-order Differential Neural Network for TCAD Simulation of the Semiconductor Devices.IEEE/ACM Design Automation Conference (DAC),2024,
- 张子冲,杨逸凡,苏睿,林桐晖,缪向水.王兴晟.Recorded Ferroelectric Polarization Switching of Hf0.5Zr0.5O2 Capacitors Achieved by Thermal Rewake-up.8th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference,2024,1-3
- 甘周超,张晨宇,马颖昊,张冬冬,缪向水.王兴晟.Efficient Implementation of Multiplexer and Full-Adder Functions Based on Memristor Arrays for In-memory Computing.8th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference,2024,1-3
- 杨逸凡,张子冲,江品锋,苏睿,黄梦华,林桐晖,缪向水.王兴晟.Promote Hf0.5Zr0.5O2 FTJs ON/OFF by Thermal Rewake-up Operation for Neuromorphic Computing.IEEE Electron Device Letters,2024,(1):36-39
- 王兴晟,黄梦华,王成旭,缪向水.忆阻器单元与CMOS电路的后端集成结构及其制备方法.发明,ZL202210933678.X,2022/08/04
- 王兴晟,王成旭,阳帆,黄梦华,缪向水.忆阻器单元与CMOS电路的后端集成结构及其制备方法.发明,ZL202111307961.3,2021/11/06
- 王兴晟,彭治梁,袁正午,王奕琛,缪向水.紧凑模型参数生成系统的构建方法及其参数生成方法.发明,ZL2024104481860,2024/04/15
- 王兴晟,王庆洁,阳帆,李楠,江品锋,王乐天,黄俊澄,缪向水.面向存算的低功耗比特可重构模数转换器及其操作方法.发明,ZL202410494146X,2024/04/24
- 王兴晟,彭治梁,袁正午,王奕琛,缪向水.集成电路器件的紧凑模型参数提取模型的构建方法及应用.发明,ZL2024104406906,2024/04/12
- 王兴晟,宋玉洁,吴琦雯,缪向水.NON-VOLATILE BOOLEAN LOGIC CIRCUIT BASED ON MEMRISTORS AND OPERATION METHOD THEREOF.PCT或外国申请,US11967953,2022/07/22
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