Kun Cao   Associate professor

曹坤(Cao Kun,Associate Professor)华中科技大学机械科学与工程学院副教授,硕士/博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域,选择性原子层沉积原理、方法与装备等,应用于集成电路、光通讯光芯片等器件结构制造。以第一/通讯作者在Nature Communications、Small、Chemistry of Materials、ACS Materials Letters等国内外期刊发表SCI论文50余篇。获湖北省优秀科技论文,国际极端制造期刊IJEM年度最佳论文,J. Vac. Sci. Techno...Detials

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